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多晶硅鑄錠用石墨件

鑄錠爐熱場主要由特種石墨用加熱器、石墨電極、石墨坩堝、DS塊、支撐桿、進(jìn)氣管等零部件組成。

熱場是多晶硅鑄錠爐的心臟，其內(nèi)裝石墨加熱器、隔熱層、坩堝和硅料等。多晶硅工藝生產(chǎn)過程中多晶硅鑄錠爐加熱室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)顯得至關(guān)重要。石墨的來源廣泛，可加工成各種形狀，且具有熱慣性小，可以快速加熱，耐高溫，耐熱沖擊性好，輻射面積大，加熱效率高，基本性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，成為了現(xiàn)在熱場的主要原料。